专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 基于杠杆原理的双稳态RFMEMS接触式开关 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-14 |
| 一种基于MEMS开关的混合移相器 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-14 |
| 一种应用于射频领域的大功率MEMS开关 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-09 |
| 热电堆红外探测器芯片 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-07 |
| 深硅刻蚀双层复合掩膜层 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-07 |
| 低应力介质复合膜 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-07 |
| 热电堆红外探测器芯片及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-03-25 |
| 低应力介质复合膜及其制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-03-25 |
| 深硅刻蚀双层复合掩膜层及其制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-03-25 |
| 一种高精度RFMEMS数字可变电容 | 专利权 | 良好信息 | 2020-08-07 |
| 高可靠性RFMEMS数字可变电容单元 | 专利权 | 良好信息 | 2020-08-07 |
| 一种RFMEMS数字可变电容阵列构造 | 专利权 | 良好信息 | 2020-02-28 |
| 一种RFMEMS数字可变电容单元 | 专利权 | 良好信息 | 2020-02-28 |
| 一种移相器 | 专利权 | 良好信息 | 2019-11-26 |
| 一种翘板结构的RFMEMS接触式开关 | 专利权 | 良好信息 | 2019-10-01 |
| 一种高性能RFMEMS电容式开关 | 专利权 | 良好信息 | 2019-10-01 |
| 一种基于MEMS开关的混合移相器 | 专利权 | 良好信息 | 2019-08-09 |
| 一种高开关电容比RFMEMS电容式开关 | 专利权 | 良好信息 | 2019-07-23 |
| 基于杠杆原理的双稳态RFMEMS接触式开关 | 专利权 | 良好信息 | 2019-06-28 |
| 用于射频微机电系统的圆片级封装结构及其封装方... | 专利权 | 良好信息 | 2018-11-20 |
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