专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 金属加工用润滑剂 | 专利权 | 良好信息 | 2017-08-11 |
| 一种可实现快速稳定抛光的抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2017-07-14 |
| 一种二氧化硅溶胶的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2017-06-06 |
| 一种硅晶片循环抛光装置及循环抛光方法 | 专利权 | 良好信息 | 2017-05-31 |
| 一种适用于低下压力的集成电路铜抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2017-04-12 |
| 一种硅晶片精抛光组合物及制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2017-04-05 |
| 一种集成电路铜CMP组合物及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2017-04-05 |
| 一种硅晶片细抛光组合物及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2017-01-18 |
| 一种硅化学机械抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2017-01-11 |
| 一种适用于晶片边缘抛光的组合物及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2016-09-21 |
| 一种快速制备大粒径硅溶胶的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2016-08-24 |
| 一种能够延长抛光垫使用寿命的硅晶片精抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2016-08-17 |
| 陶瓷材料用研磨剂 | 专利权 | 良好信息 | 2016-08-17 |
| 一种纳米半导体光催化剂的制备方法及应用 | 专利权 | 良好信息 | 2016-07-06 |
| 一种硅溶胶的处理方法 | 专利权 | 良好信息 | 2016-06-29 |
| 一种适用于低下压力的弱酸性铜抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2016-06-29 |
| 用于超硬材料的化学机械平坦化抛光垫及制备、抛... | 专利权 | 良好信息 | 2016-04-20 |
| 一种适用于大尺寸硅晶片抛光的抛光组合物及其制... | 专利权 | 良好信息 | 2015-11-25 |
| 一种适用于硅晶片边抛光的抛光组合物及其制备方... | 专利权 | 良好信息 | 2015-08-12 |
| 一种可实现快速稳定抛光的抛光液 | 专利权 | 良好信息 | 2015-05-27 |
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