专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种用于碳化硅晶片退火的装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-05 |
| 一种用于碳化硅晶体的混合搅拌装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-05 |
| 一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-05 |
| 一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-03 |
| 一种碳化硅片生产用贴膜设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-03 |
| 一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-31 |
| 一种碳化硅锭生产用自动成型设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-31 |
| 一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-27 |
| 一种用于SiC晶体生长的多用途石墨坩埚 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-20 |
| 一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-17 |
| 一种碳化硅晶片清洗用固定机构 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种碳化硅单晶片的镀膜装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种用于碳化硅晶片的抛光装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种碳化硅片生产用加热退火装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-10 |
| 一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-10 |
| 晶体生长用籽晶下置式装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-03-29 |
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