专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种自动加液式碳化硅腐蚀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-23 |
| 一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-23 |
| 一种碳化硅连续长晶装置及长晶工艺 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-23 |
| 一种碳化硅晶体的液相法生长坩埚及使用方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-19 |
| 一种碳化硅晶片双面打磨、清洁加工装置及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-16 |
| 一种碱性蒸汽腐蚀碳化硅晶片设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-12 |
| 一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-12 |
| 一种碳化硅晶片生长除背面沉积物装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-25 |
| 一种碳化硅晶片生长用的加热设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-11 |
| 一种碳化硅晶体的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-24 |
| 一种基于生长组分稳定输运的大尺寸碳化硅晶体生... | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-23 |
| 一种PVT法碳化硅晶体生长用组合结构热场保温... | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-13 |
| 一种碳化硅抛光装置和工艺 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 一种籽晶粘接用渐变式挤压真空粘接装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-16 |
| 一种碳化硅晶体线切割装置及切割方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-24 |
| 一种单线切割机上料治具 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-21 |
| 一种碳化硅晶片减薄装置及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-21 |
| 一种在碳化硅晶片腐蚀过程中防止晶片碎裂的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-03 |
| 一种籽晶粘接烧结定位装置及提高晶体质量的粘接... | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-27 |
| 一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-24 |
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