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一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的多晶硅铸锭方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-569-8200-0924
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B28/06;C30B29/06;C04B41/87类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的多晶硅铸锭方法,包括步骤:一、坩埚底部涂层制备:涂层喷涂液配制、喷涂和烘干;二、装料:向带底部涂层的坩埚内装入硅料,并将内装硅料的坩埚装入多晶硅铸锭炉内;多晶硅铸锭炉内装有六面加热装置;六面加热装置包括底部加热器、顶部加热器和四个侧部加热器;三、预热;四、熔化,过程如下:401、第一次升温;402、第二次升温;403、后续熔化;五、长晶;六、退火及冷却。本发明设计合理且实现简便、使用效果好,通过在坩埚底部涂覆一层以氮化硼为主要原料的底部涂层,并采用六面加热装置进行加热,能有效降低坩埚底部氧含量,并能有效减少铸锭成品的硬质点,提高铸锭成品的质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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