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硅粉在多晶硅铸锭制备中的应用【异议或纠错】

档案编号: CQ-719-2980-4143
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B28/06;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了硅粉在多晶硅铸锭制备中的应用,该多晶硅铸锭的制备方法包括:一、将硅粉与硅回用料、硅颗粒、多晶硅块料、多晶硅棒料、硅籽晶装入到铸锭炉的石英坩埚中作为铸锭用硅料;步骤二、对铸锭炉抽真空后加热;三、将铸锭用硅料熔化;四、向铸锭炉中通入氩气并保压降温进行定向凝固长晶;五、向铸锭炉中持续通入氩气退火;六、向铸锭炉中持续通入氩气冷却得到多晶硅铸锭。本发明将硅粉作为多晶硅铸锭的制备硅料之一,采用独特的装料方式,有效增加了硅料及硅粉的装炉量,改善了硅料之间的传热效果,保证了硅粉的充分熔化,提高了多晶硅铸锭的成品率,进而提高了多晶硅铸锭的少子寿命;同时无需将硅粉预先压制成粉饼,降低了制备成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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