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半导体器件的制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-316-8942-0252
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02F1/01类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种半导体器件的制备方法,能够简化热光调制器的加热器的制造工艺。其中所述半导体器件的制备方法包括以下步骤:提供衬底,且所述衬底上表面形成有波导;在所述波导上方依次形成加热层和电极层,且所述加热层和所述电极层在一次沉积中形成;图形化所述电极层,以形成至少两个分立的电极;图形化所述加热层,以形成加热装置;形成覆盖所述电极和加热装置的钝化层。
附件下载:  (原始资料备查)

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