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一种热光移相器及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-116-6763-3351
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02F1/01类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一热光移相器及其制备方法,热光移相器包括:形成于半导体衬底中的传播波导;至少一条掺杂电阻线,形成于半导体衬底中且位于传播波导的至少一侧;第一绝缘层,形成于半导体衬底、传播波导及掺杂电阻线表面;至少一条金属电阻线,形成于第一绝缘层上表面且金属电阻线与掺杂电阻线在垂直方向上的投影不重叠;第二绝缘层,形成于第一绝缘层及金属电阻线表面;第一通孔连线,至少形成于掺杂电阻线两端;第二通孔连线,至少形成于金属电阻线两端;第一、第二通孔连线通过导电线进行连接,以此对掺杂电阻线及金属电阻线进行电连接,从而引出两个供电端。通过本发明提供的热光移相器及其制备方法,解决了现有热光移相器存在移相速率低的问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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