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股份有限公司(非上市、自然人投资或控股) 成立历史第27 

一种基于氮化硼涂层的多晶硅铸锭工艺【异议或纠错】

档案编号: CQ-444-8387-9394
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B28/06;C30B29/06;C30B33/02;C03C17/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种基于氮化硼涂层的多晶硅铸锭工艺,包括步骤:一、坩埚底部涂层制备;二、多晶硅铸锭:201、装料;202、预热;203、熔化;204、长晶;205、退火及冷却:2051、第一次退火:将多晶硅铸锭炉的加热温度降至T4并保温2h~3h,T4=1250℃~1280℃;2052、第二次退火:将多晶硅铸锭炉的加热温度由T4降至T5并保温2h~3h;T5=900℃~950℃;2053、冷却。本发明步骤简单、设计合理且实现简便、使用效果好,通过在坩埚底部涂覆一层以氮化硼为主要原料的底部涂层,能有效降低坩埚底部氧含量,并能有效减少铸锭成品的硬质点,同时对退火工艺进行调整,能提高铸锭成品的质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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