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一种多晶硅铸锭方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-444-8392-6380
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B29/06;C30B28/06;C30B33/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种多晶硅铸锭方法,包括步骤:一、辅助加热器安装:在多晶硅铸锭炉内安装辅助加热器;辅助加热器为坩埚下方的底部加热器且其与顶部加热器和四个侧部加热器组成六面加热装置;二、装料;三、预热;四、熔化:六面加热熔化、五面加热熔化和后续熔化;五、长晶;六、退火及冷却:第一次退火:将多晶硅铸锭炉的加热温度降至T4并保温2~3h,T4=1250~1280℃;第二次退火:将多晶硅铸锭炉的加热温度降至T5并保温2~3h,T5=900~950℃;冷却。本发明步骤简单、设计合理且实现简便、使用效果好,采用六面加热装置进行加热,能有效降低坩埚底部氧含量,同时对退火工艺进行调整,能有效提高铸锭成品的质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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