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专利信息

一种串联压电驱动纳米定位平台【异议或纠错】

档案编号： CQ-445-5315-0280
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G12B5/00;F16M11/04类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了串联压电驱动纳米定位平台,安装在基座内的平台本体、安装在平台本体上的XY向运动平台和压电陶瓷驱动器,XY向运动平台分别通过X向柔性铰链与Y向柔性铰链装配在基座中,X向柔性铰链与Y向柔性铰链分别通过X向弹簧组件与Y向弹簧组件与平台本体连接；XY向运动平台内分别安装有用于检测该运动平台X向位移的X向传感器和用于检测该运动平台Y向位移的Y向传感器,X向传感器和Y向传感器读取的位移数据配合共同完成纳米定位平台的二自由度运动的检测与反馈；压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X向柔性铰链与Y向柔性铰链上,用于驱动XY向运动平台的二维运动。本发明的有益效果是串联的柔性铰链位移耦合小、偏航小、线性度好、定位精度高。
附件下载：  (原始资料备查)

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