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专利信息

一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-560-5335-1099
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G01B21/24;G01R31/26;G01R1/02;H01L21/66类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法,包括：基座；横梁,安装在基座上；滑台,可用于承载晶圆；直线电机,用于驱动滑台沿横梁滑动；传感器,具有至少三个,可用于检测晶圆的垂直直线度；气浮轴承,包括第一气浮轴承、第二气浮轴承以及第三气浮轴承,用于滑台的悬浮；补偿装置,基于传感器检测的实时数据,对晶圆的垂直直线度进行补偿。本发明可以消除基座因机械加工精度固有因素导致的运动平台垂直直线度不高、无法对平台运动过程中的垂直直线度进行检测和补偿的技术问题,极大地提高了晶圆运动过程中的垂直直线度。
附件下载：  (原始资料备查)

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