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专利信息

一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-475-0387-6604
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G02B26/08;G02B26/10;G05B13/02类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法,包括以下步骤：S1：测得电容传感器误差-角度曲线Δθ-θ；S2：测得电容传感器未经处理的测量值θx1和θy1；S3：系统的总摆角近似为：θ1＝0.85×(θx1+θy1)；S4：通过查表Δθ-θ,得知θ1处于θaθa+1分隔区间,该区间两端的误差值为ΔθaΔθa+1；S5：传感器的矫正值Δθ1＝(θ1-θa)/(θa+1-θa)×Δθa+1+(θa+1-θ1)/(θa+1-θa)×Δθa。本发明很好地解决了压电偏摆镜在使用电容传感器时带来的正交耦合误差的问题,使得电容传感器在大行程压电偏摆镜上的应用成为可能。
附件下载：  (原始资料备查)

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