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一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计【异议或纠错】

档案编号: CQ-508-7772-1772
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01P15/125;B81B7/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计,包括:衬底层,所述衬底层上设有器件层,所述器件层上设有正检测单元和负检测单元,所述正检测单元和负检测单元内设有多个梳齿间隙调节装置,所述正检测单元和负检测单元相对设置,所述正检测单元和负检测单元之间设有可动质量块,所述可动质量块上设有正力平衡单元和负力平衡单元,所述正力平衡单元和负力平衡单元平行设置;本发明通过梳齿间隙可调式MEMS加速度计的创新设计,可实现补偿由于工艺制造导致的结构间隙偏差、失配、加工一致性差等问题,从而保证了器件设计指标的零偏移,增强了器件指标的稳定性、一致性,同时提升了装置的灵敏度和分辨率,优化了MEMS加速度计的性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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