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一种MEMS加速度计抗冲击止挡结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-120-9145-9358
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01P15/08;G01P15/125类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种MEMS加速度计抗冲击止挡结构,包括止挡凸块、支撑梁、固定框架、镂空结构和弹性梁;所述支撑梁和固定框架围成矩形边框,所述矩形内部设有镂空结构,所述镂空结构由平行四边形结构和三角形结构组成,所述止挡凸块和支撑梁固定在衬底层,所述固定框架和镂空结构悬浮,所述固定框架两侧通过弹性梁与MEMS加速度计连接。当外界存在强冲击导致可动质量块发生大幅度偏移时,镂空结构使冲击力所做功转换为自身结构变形所需的塑性能减少弹性梁的位移和所承受应力,避免弹性梁断裂,进而使得可动质量块的位移减小,降低对止挡凸块的应力,精确控制止挡距离,有效避免了质量块上的可动梳齿撞击到固定梳齿导致MEMS加速度计失效的问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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