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一种梳齿交叠长度可调的锯齿形结构MEMS加速度计【异议或纠错】

档案编号: CQ-097-7406-9846
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01P15/08;G01P15/125类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种梳齿交叠长度可调的锯齿形结构MEMS加速度计,包括基底层,所述基底层上设有结构层,所述结构层上设有可动质量块,所述可动质量块中部对称设有正闭环反馈单元和负闭环反馈单元;所述可动质量块上下两端分别设有正敏感单元和负敏感单元,所述敏感单元设有梳齿交叠长度调节装置。本发明使得结构层的梳齿间隙特征尺寸变大,对工艺要求变低,提高了工艺友好性和可实现性;并且通过梳齿交叠长度调节装置,可增大敏感单元梳齿间的交叠长度,增加梳齿正对面积的同时减小梳齿间隙,进一步地提高了器件的灵敏度及分辨率,优化了MEMS加速度计的综合精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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