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一种模斑转换器及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-616-8885-1585
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B6/14;G02B6/13类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种模斑转换器及其制备方法,包括:硅衬底以及埋氧层;位于埋氧层之上的第一波导以及与之平行的至少两个第二波导,第二波导设置于第一波导两侧;第一波导的宽度从入光面一侧到出光面一侧逐渐减小;位于所述埋氧层、第一波导及第二波导之上的上包层;位于上包层中高于第一波导且与之平行的至少两个低折射率波导,低折射率波导设置于所述第一波导两侧;低折射率波导的宽度从入光面一侧到出光面一侧逐渐增大,低折射率波导的折射率低于所述第一波导的折射率。本发明不但对准容差大,衬底吸收损耗还小。
附件下载:  (原始资料备查)

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