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一种压电式MEMS声传感器【异议或纠错】

档案编号: CQ-616-8885-3293
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01L9/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供的一种压电式MEMS声传感器,包括基底、内部电极区及外部电极区,外部电极区位于内部电极区的外围,所述内部电极区与外部电极区均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层、中间电极、下压电层和底电极;内部电极区中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔;在基底的顶部设置有下支撑层,内部电极区及外部电极区均位于下支撑层上,在内部电极区及外部电极区的顶面均设置有由硅基材料制成的上支撑层。本发明具有的灵敏度高,耐静水压能力增强:能使MEMS声传感器满足不同耐压及工作水深的应用需求。
附件下载:  (原始资料备查)

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