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一种铁环蓝膜自动上下料方法、装置及检测设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-625-7123-8111
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/677类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种铁环蓝膜自动上下料方法,将用于进行上下料的料盒记为第一料盒,将完成上下料的料盒记为第二料盒;包括:在料盒周转区装载至少两个所述第一料盒,所述料盒周转区分为工作位和至少两个切换位;将所述第一料盒置于所述工作位,取完新料片和/或装满老料片后,将之前位于所述切换位的所述第一料盒移动至所述工作位;上下料工作过程中和/或上下料工作停止时,取下所述第二料盒和/或补充所述第一料盒。料盒切换工作,延长料盒更换周期、提高检测流程的流畅性、连贯性好,料盒更换操作便捷高效、工时利用率高,能够优化生产资源配置。本发明还提供的铁环蓝膜自动上下料装置及检测设备具有相应优势。
附件下载:  (原始资料备查)

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