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一种电镀设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-682-0696-5635
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C25D17/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种电镀设备,包括电镀槽和阳极装置,所述电镀槽中包括向阴极方向延伸的若干圈相互独立的一级绝缘隔板,所述阳极装置包括若干圈导电环,所述若干圈一级绝缘隔板和所述若干圈导电环均呈靶状同心嵌套设置,相邻的导电环被一级绝缘隔板隔开,还包括若干电源,每个电源通过导电结构与一圈或者多圈导电环电连接。本实用新型公开的电镀设备可以有效减少相邻导电环之间的电场干扰,保证电镀药液中电场的稳定和有序。该电镀设备还可以有效改变电镀过程中阳极的通电尺寸,以适用于不同尺寸的晶圆电镀。
附件下载:  (原始资料备查)

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