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自动化系统的运作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-054-0312-2998
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开一种自动化系统的运作方法,包含提供一自动化系统,自动化系统至少包含:一光掩模交换机,包含有至少一运送盒位于其中,一无人搬运车,一自动封袋机,以及一传输轨道,连接自动封袋机以及一储存柜。其中,无人搬运车将光掩模交换器中的运送盒拿出,并且送至自动封袋器中进行封袋,且将封袋后的运送盒经由传输轨道传送至储存柜进行储存。
附件下载:  (原始资料备查)

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