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快速调整碳化硅切割角度的方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-056-7585-5101
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B28D5/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种快速调整碳化硅切割角度的方法,涉及碳化硅技术领域,其能够快速调整碳化硅切割角度的方法是通过晶体定向后得到的上垂线方向,对切割装载后晶体X和Y轴进行有意向的精确调整,从而达到客户需要的角度要求;并且,无论晶体角度多大,均可按照此方法对其进行调整,从而使切割后的晶圆角度可控精度,以达到客户需要的角度要求。所述快速调整碳化硅切割角度的方法中,待切割的晶体装载到切割设备时,需要将上垂线与切割线网平行,平边对面为线网开始切割方向,SI面朝外,使用千分表进行端面打表;降低角度的操作过程包括:晶体X轴角度降低和晶体X、Y轴角度同时降低;增大角度的操作过程包括:晶体X轴角度增大和晶体X、Y轴角度同时增大。
附件下载:  (原始资料备查)

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