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一种DI曝光机的LED光学设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-057-7115-7280
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种DI曝光机的LED光学设备,涉及DI曝光机的LED光学设备领域,解决了现有DI曝光机的LED光学设备使用时成像镜头长时间处于高强度运行状态发热严重影响使用寿命的运行效果的问题,包括转动装置、感温装置、切换装置和多组光刻设备,多组光刻设备上均固定连接有两组成像镜头,成像镜头的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备,此DI曝光机的LED光学设备,便于通过设置两组成像镜头并通过感温装置接收两组成像镜头的温度状态,并随着一组成像镜头的运行温度升高逐渐进行蓄力,当温度达到设定温度后触发转动装置进行转动180°,提高了成像镜头的运行效率,延长了机体的使用寿命。
附件下载:  (原始资料备查)

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