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一种晶圆检测装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-2660-1678
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N21/95;G01N21/01类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型提供了一种晶圆检测装置,包括支撑框架、照明系统、棱镜组件、均光板组件和成像相机;照明系统设于所述支撑框架,且位于支撑框架的一侧,照明系统用于朝支撑框架的另一侧发射光线;支撑框架的另一侧设有开口,成像相机位于支撑框架的另一侧对应所述开口设置,用于接收从所述开口处发射出的光线并成像;所述棱镜组件和所述均光板组件均设于所述支撑框架,所述棱镜组件位于所述均光板组件的上方,所述照明系统发射的光线可依次通过所述棱镜组件和所述均光板组件照射在晶圆上,且所述棱镜组件还用于将晶圆上反射的光线从所述开口导出。本实用新型提供的晶圆检测装置,空间尺寸较小,实现了明场照明,降低了光源功率,提升了系统性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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