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晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-116-8498-0748
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统,晶圆缓存系统的使用方法包括以下步骤:提供晶圆缓存装置和控制模块,使层间工艺模块内的晶圆依次途经晶圆曝光前工艺处理模块、晶圆缓存装置和冷却组件后传至曝光模块进行光刻处理,且使晶圆缓存装置中的晶圆缓存工位的数量大于等于晶圆曝光前工艺处理模块中晶圆处理工位的数量;控制模块控制层间工艺模块向晶圆曝光前工艺处理模块内传送晶圆的传片速度,以使晶圆曝光前工艺处理模块和晶圆缓存装置中总的晶圆数量等于晶圆缓存装置中晶圆缓存工位的数量。本发明能使晶圆曝光前工艺处理模块中处理好的晶圆都能全部传送退避至晶圆缓存装置中缓存,避免了对晶圆质量造成影响。
附件下载:  (原始资料备查)

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