上海芯刻微材料技术有限责任公司 访客留言 申请认证

信用网址： 143832551.11315.com   

有限责任公司(外商投资企业法人独资) 成立历史第7 年

专利信息

一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和应用【异议或纠错】

档案编号： CQ-059-2908-3303
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C09D145/00;C09D135/00;C08F234/02;C08F232/08;C08F222/40;C08F220/40;G02B1/111类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和应用。本发明公开的聚合物由下述方法制备得到：(1)将溶剂I预热；(2)将如式(A)所示的单体、如式(B)所示的单体、如式(C)所示的单体、如式(L)所示的交联剂、引发剂和溶剂II混合,得一混合液；(3)将混合液加入到预热的溶剂中进行聚合反应；其中,步骤(1)和步骤(2)不分先后。所述的深紫外光刻用底部抗反射涂层能够降低反射率,在底部抗反射涂层旋涂光致抗蚀剂后,未观察到由底部抗反射涂层形成的浮渣。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315