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涂胶显影设备及其维护方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-061-7260-4074
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/30;B25J11/00;H01L21/67;B05C11/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种涂胶显影设备及其维护方法。所述涂胶显影设备包括第一层间工艺模块、以及设置于所述第一层间工艺模块的一侧的层内机械人组件,所述层内机械人组件包括从下而上依次层叠设置的第一层内机械人、第二层内机械人和第三层内机械人;所述第一层间工艺模块内设有第一模块内维护通道,所述第一层间工艺模块与所述层内机械人组件设有第一模块间维护通道;所述第一模块内维护通道和所述第一模块间维护通道连通构成第一维护路线,所述第一维护路线用于对所述第一层间工艺模块、所述第一层内机械人、所述第二层内机械人和所述第三层内机械人进行维护。本发明缩短了维护路径,缩短了维护时长,维护更为方便,对维护人员更为友好。
附件下载:  (原始资料备查)

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