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专利信息

一种全自动晶圆测试设备及方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-067-2682-6099
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/66;H01L21/68;H01L21/67类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请涉及晶圆检测的技术领域,尤其是涉及一种全自动晶圆测试设备及方法,包括机箱、料仓、支撑架、预定位机构及检测机构。其中,机箱内设置有分隔板,分隔板将机箱内部分隔出转运腔及检测腔；料仓设置在机箱上,机械手设置在转运腔内且靠近料仓,机械手用于转运晶圆；支撑架设置在转运腔内,预定位机构设置在支撑架上且远离料仓,预定位机构用于对晶圆的正面或背面的编号进行检测,并调整晶圆的位置；检测机构设置在检测腔内,检测机构包括卡盘及针卡夹具,针卡夹具用于夹持针卡,机械手用于将晶圆从转运腔转运至检测腔内,并将晶圆放置在卡盘上,以便于针卡对卡盘上的晶圆进行检测。本申请具有便于对晶圆的位置进行校准的效果。
附件下载：  (原始资料备查)

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