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机械手组件及探针台【异议或纠错】

档案编号: CQ-119-6993-4400
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/687;H01L21/66;G01R1/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括:第一机械手,第一机械手用于承载晶圆,第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板,第一手臂承载于第一底板;第二机械手,第二机械手用于承载晶圆,第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板,第二底板与第一底板相对设置,且第二底板固定连接于第一底板,第二手臂承载于第二底板邻近第一底板的一侧;及第一传动件,第一传动件设置于第二底板背离第一底板的一侧,第二底板及第一底板能够在第一传动件的带动下以第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转,中心轴沿第一底板及第二底板的排布方向延伸,使得机械手组件在探针台中能够保持平稳的运输状态。
附件下载:  (原始资料备查)

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