成都华托微纳智能传感科技有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 140935659.11315.com   

其他有限责任公司 成立历史第

一种锯齿形梳齿结构的MEMS加速度计【异议或纠错】

档案编号: CQ-097-7011-7150
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01P15/125;G01P15/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种锯齿形梳齿结构的MEMS加速度计,包括衬底层和结构层,所述结构层包括可动质量块悬浮于所述衬底层之上,受到加速度时,可在左右方向上发生位移,所述可动质量块两侧设有梁,所述梁通过第一锚点固定在衬底层上,可动质量块内部设有梳齿对,所述梳齿对包括在可动质量块中间对称设置一组、四个角分别设置一组的敏感梳齿对和对称设置两组的反馈梳齿对,所述敏感梳齿对为锯齿形梳齿,反馈梳齿对为矩形梳齿。本发明创新性地引入锯齿形梳齿结构,使可动质量块在受到加速度运动时,几乎只产生滑膜阻尼,大大减少了热机械噪声,并且锯齿形梳齿使MEMS加速度计电容的变化量更大,有效提高了灵敏度和分辨率。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315