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单体定向切割碳化硅的方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-101-9339-3577
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B28D5/04;B28D7/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种单体定向切割碳化硅的方法,涉及碳化硅切割技术领域,其是对切割的每一个晶体分别定向后再切割,从而使切割的晶圆角度可控,切割加工后满足客户要求,而且能够切割一锯同时满足多个客户不同角度要求。所述单体定向切割碳化硅的方法,包括如下步骤:晶体定向加工后,将单个晶体粘接到小托盘载体上,放入多线切割设备,固定后使用千分表对单个晶体端面进行打表确定横向和纵向角度偏差;如果偏差出现问题,调节固定装置并使千分表读数达到要求范围;如果偏差未有问题,则第一块晶体调节完毕,放入第二块晶体直至第N块晶体,并按照上述步骤依次重复调节,至此每次能够切割多个晶体。
附件下载:  (原始资料备查)

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