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专利信息

一种基于Topcom架构的8Mask显示面板的制造方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-104-3783-1215
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L27/12类
授权状态： 已授权
档案内容： 一种基于Top com架构的8Mask显示面板的制造方法,包括：在玻璃基板上沉积并图案化形成第一金属层、第一绝缘层、对第一绝缘层进行开孔,第一过孔,使第二金属层与部分栅极金属层相连接；沉积一层有源层、第二金属层、第二绝缘层,涂布一层有机光阻,源极位置进行开孔,为第二过孔；沉积透明电极保护层；此处该透明电极保护层需进行两次曝光蚀刻,一次使用正型光阻和公共电极光罩进行曝光和蚀刻,然后使用负型光阻和第三绝缘层光罩进行曝光和蚀刻,最终得到所需图形；沉积第一透明电极层、第三绝缘层,对第三绝缘层进行开孔,为第三至第五过孔；沉积第二透明电极层。本发明使9Mask阵列基板减少至8Mask,降低了成本。
附件下载：  (原始资料备查)

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