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一种真空抽液与气液分离装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-113-5886-0302
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B01D45/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型属于半导体晶圆加工工艺领域,特别是湿法工艺领域的一种真空抽液与气液分离装置,包括真空发生器及气液分离桶;真空发生器具有压缩空气气源连接端、流体抽取端及流体输出端,气液分离桶的顶部开设有排气口、底部开设有排液口,真空发生器的流体输出端与气液分离桶相连通,真空发生器的流体抽取端与设备排废液管道连通,真空发生器的压缩空气气源连接端与外接压缩空气气源连通。本实用新型采用将压缩空气通入真空发生器内,由真空发生器产生负压抽取设备排废液管道内的液体,再输入至气液分离桶内,实现气体与液体的分离排放,能够有效避免设备排废液管道排出废液时发生堵塞的问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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