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有限责任公司(外商投资企业与内资合资) 成立历史第26 

片盒组件及包含其的晶圆清洗单元【异议或纠错】

档案编号: CQ-116-5024-4336
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/673;H01L21/67;B08B3/10类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种片盒组件及包含其的晶圆清洗单元,其包括片盒和至少两个晶圆,所述片盒内设有至少两个容置格,各所述晶圆分别平行放置于对应的所述容置格内,位于奇数个所述容置格内的所述晶圆的正面均朝第一方向,位于偶数个所述容置格内的所述晶圆的正面均朝第二方向,所述第一方向与所述第二方向相反。通过设置片盒内晶圆的方向,使任意一个晶圆的正面不与其他晶圆的背面相对,避免了晶圆的正面朝向其他晶圆的背面,防止在清洗时晶圆的背面对其他晶圆的正面造成污染,提高了良率。
附件下载:  (原始资料备查)

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