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有限责任公司(外商投资企业与内资合资) 成立历史第26 

一种共享晶圆夹具的金属镀覆设备和方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-116-8776-1331
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C25D17/08;C25D17/02;C25D7/12;C25D5/48;C25D5/34;C25D21/10;C23C18/31;C23C18/18;C23C18/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种共享晶圆夹具的金属镀覆设备和方法,其中,共享晶圆夹具的金属镀覆设备包括移动机构、晶圆夹具以及多个工作槽;晶圆夹具用于可拆卸固定晶圆,移动机构连接晶圆夹具;工作槽包括工艺槽和镀槽,工艺槽和镀槽共享一个晶圆夹具,移动机构在各个工作槽之间转运该晶圆夹具。本发明提供的共享晶圆夹具的金属镀覆设备和方法,多个工作槽共享一个晶圆夹具,从而有效降低了设备对晶圆夹具数量的要求,极大的降低了设备成本;并且,晶圆夹具在移动机构的带动下在多个工作槽之间进行转运,避免了频繁上下片而导致的晶圆损毁、氧化、翘曲等诸多风险,极大的提高了工艺质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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