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抽拉装置及其使用方法、涂胶显影设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-118-2454-0506
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/16;H01L21/67;B65G35/00;G03F7/30类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种抽拉装置及其使用方法、涂胶显影设备。所述抽拉装置包括装置本体和抽拉组件;所述抽拉组件包括上导轨组件和下导轨组件,所述上导轨组件和所述下导轨组件均为多段式导轨,所述上导轨组件设置于所述装置本体的上端面,所述下导轨组件设置于所述装置本体的下端面,所述装置本体沿所述上导轨组件和所述下导轨组件的导轨方向运动,以从所述涂胶显影设备中拉出或推回于所述涂胶显影设备。本发明增大了所述上导轨组件和所述下导轨组件的行程,便于维修人员从拉出的所述装置本体与所述涂胶显影设备之间的活动维修口进入所述涂胶显影设备中进行维修,解决了现有技术中维护不方便、操作复杂、耗费时间较长等诸多不足。
附件下载:  (原始资料备查)

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