新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 72987398.11315.com   

有限责任公司(外商投资企业与内资合资) 成立历史第26 

晶圆清洗系统及晶圆清洗方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-127-3859-7392
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种晶圆清洗系统及晶圆清洗方法,该晶圆清洗系统包括:清洗槽;相互连接的晶圆夹具和机械手,所述晶圆夹具用于固定晶圆,所述机械手驱动所述晶圆进出所述清洗槽,并驱动所述晶圆在所述清洗槽内旋转。该晶圆清洗系统通过设置用于搬运晶圆进出清洗槽并带动晶圆旋转的机械手,使得在对晶圆进行清洗工序前,晶圆无需再与各设备的晶圆夹具之间进行分离和转运,有效简化流程设置。同时,该清洗系统可设置不同的晶圆夹具以兼容多种尺寸晶圆,以有效降低清洗系统及整个电镀系统的结构复杂程度。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315