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专利信息

倾斜场板的制造方法、HEMT器件及其制造方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-248-5801-4099
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L29/40;H01L29/778;H01L21/335类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明揭示了一种倾斜场板的制造方法、HEMT器件及其制造方法,所述制造方法包括：在第一钝化层上形成光刻胶掩膜；通过曝光显影工艺,在光刻胶掩膜上形成梯形结构；在光刻胶掩膜的梯形结构中填充第二钝化层；去除光刻胶掩膜；在第一钝化层及第二钝化层上形成第三钝化层,第三钝化层包括倾斜面；在第三钝化层上形成金属场板,金属场板至少形成于第三钝化层的全部或部分倾斜面上。本发明通过光刻胶掩膜形成梯形结构,并将梯形结构的倾斜面转移到钝化层上,进而在钝化层上制备倾斜场板；倾斜场板的制造工艺简单可行,且倾角和长度可调控。
附件下载：  (原始资料备查)

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