专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 沉积处理设备及其反应腔和气体分配装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-05 |
| 一种石英部件及其制作方法以及基片处理设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-05 |
| 一种基片的刻蚀方法及其半导体器件 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-02 |
| 耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-29 |
| 晶圆存储装置、半导体处理系统及使用方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-15 |
| 一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 用于真空处理设备的内衬装置和真空处理设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 一种隔离环组件、等离子体处理装置及处理方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 等离子体处理装置及其绝缘窗组件 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 限流环驱动结构和气相沉积设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 光强度监测调节机构、调节方法及等离子体处理装... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 一种基座、化学气相沉积装置及处理系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-08 |
| 半导体处理设备、气体分配装置和气体调节方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-13 |
| 等离子体电感线圈结构、等离子体处理设备以及处... | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-09 |
| 零部件、其形成涂层的方法及装置和等离子体反应... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
| 斜面刻蚀设备的晶圆定位机构、斜面刻蚀设备及晶... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-16 |
| 脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-12 |
| 零部件、耐等离子体涂层的形成方法和等离子体反... | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-29 |
| 一种气体注入装置、外延设备及使用方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-29 |
| 耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成... | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-29 |
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