专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种SOI晶圆的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-09-06 |
| 一种硅片的夹具损伤的预测方法及装置、硅片 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-30 |
| 毛刷安装治具 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-05 |
| 一种单晶硅片无缺陷区深度的测量方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-04 |
| 一种硅片表面金属杂质的取样装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-17 |
| 一种卸载装置及化学机械抛光辅助设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-17 |
| 硅片的键合方法以及混合溶液在硅片键合前进行表... | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-09 |
| 一种外延片的生长方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-05 |
| 一种多功能晶棒收容转运货架 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-02 |
| 一种N含量精确的N掺杂剂的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-29 |
| 一种高均匀性SOI硅片的制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-22 |
| 一种提高外延片表面平坦度的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 一种单晶棒结晶界面形貌的分析方法、高质量单晶... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-08 |
| 离子注入过程中对晶圆进行散热的方法以及离子注... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-01 |
| 一种改善抛光硅片平坦度的装置及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-27 |
| 晶圆表面沾污的检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-27 |
| 一种键合方法以及SOI衬底的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-20 |
| 离子注入机以及离子注入方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-06 |
| 一种轻掺外延片掺杂气体的混气装置及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-06 |
| 一种晶棒货架配套手推车 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
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