专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种半导体设备用的控温加热装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-06-08 |
| 一种化学气相淀积反应室用气体注入环 | 专利权 | 良好信息 | 2021-06-04 |
| 一种薄膜沉积反应腔腔体清洁装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-06-01 |
| 一种物理气相沉积腔体配件装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种等离子体处理用聚焦环组件 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种等离子体化学气相沉积设备水平度的自动调节... | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种低温低压化学气相沉积反应腔 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种半导体设备用的升降基座组件 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-18 |
| 一种铝制备件钻孔装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-11 |
| 一种用于外延膜生长设备的晶圆定位装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-11 |
| 一种半导体干法刻蚀设备腔体水汽含量报警系统 | 专利权 | 良好信息 | 2021-04-02 |
| 一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-03-30 |
| 一种半导体制造用晶圆对准去气腔装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-03-19 |
| 一种基于半导体制作的晶圆传输装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-03-19 |
| 一种沉积绝缘膜加工用监控报警系统 | 专利权 | 良好信息 | 2021-02-26 |
| 一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销 | 专利权 | 良好信息 | 2021-02-23 |
| 一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销 | 专利权 | 良好信息 | 2021-01-19 |
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