专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种硅扁管及其制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-06 |
| 一种三路一体式喷射管及其制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
| 一种用于采集多机台间公用的一用一备装置状态信... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 一种为连续波模式射频电源增加脉冲模式的系统 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-12 |
| 一种用于晶圆检测的载台装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-17 |
| 一种晶圆检测装置和方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-10 |
| 一种半导体设备用竹节形顶针 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-12 |
| 一种在安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-05 |
| 一种为连续波模式射频电源增加脉冲模式的系统及... | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-08 |
| 一种静电卡盘组件检漏装置及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-08 |
| 一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-27 |
| 一种基于PID迭代优化模型的晶圆加热工艺优化... | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-16 |
| 一种波段可调的照明装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-05 |
| 一种用于半导体设备的顶针结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-05 |
| 一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-07 |
| 一种远心镜组切换器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-28 |
| 一种化学气相沉积设备的导气管 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-24 |
| 一种用于半导体加工设备的进气装置以及半导体加... | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-14 |
| 一种用于半导体反应设备的调压装置及半导体反应... | 专利权 | 良好信息 | 2023-02-03 |
| 一种拼接式喷射管及其导气孔和本体的制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-03 |
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