专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 气体内外循环-晶圆冷却方法及系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-09-24 |
| 晶舟双级联动传输系统及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-09-24 |
| 基于钛衬底的二氧化硅刻蚀方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-09-24 |
| 半导体自动化设备及自动化控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-09 |
| 气体内外循环-晶圆冷却方法及系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-06 |
| 一种用于提高正反平面沉积均匀性的盒式电极 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-18 |
| 半导体工艺设备及安装方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-14 |
| 一种晶圆加工用加热载盘 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-14 |
| 晶舟双级联动传输系统及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-11 |
| 石英腔内表面SIN膜的去除方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-14 |
| 下电极装置及晶圆处理方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-14 |
| 晶圆镀膜用液态源蒸发系统及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-10 |
| 晶圆传送平台及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-03 |
| 一种减小晶圆表面粗糙度的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-03 |
| 一种用新型材料固定气体分流盘装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-22 |
| 半导体测试设备及位置调整方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-22 |
| 立式炉晶舟升降系统及闭环控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-01 |
| 一种自检式芯片刻蚀用等离子体清洗去胶设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 基于钛衬底的二氧化硅刻蚀方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-15 |
| 用于调节等离子体均匀性的可变控制板及调节方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
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