专利信息
档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
---|---|---|---|
一种双镀源物理气相沉积工艺及多模式物理气相沉... | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-16 |
半导体基板的洁净控制系统及方法、洁净设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-31 |
半导体基板的洁净控制系统及方法、洁净设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-31 |
一种双镀源物理气相沉积工艺及多模式物理气相沉... | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-06 |
更多>>视频联播
档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
---|---|---|---|
一种双镀源物理气相沉积工艺及多模式物理气相沉... | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-16 |
半导体基板的洁净控制系统及方法、洁净设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-31 |
半导体基板的洁净控制系统及方法、洁净设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-31 |
一种双镀源物理气相沉积工艺及多模式物理气相沉... | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-06 |
更多>>视频联播