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专利信息

一种具有集成检测标记的光刻掩膜版及其应用【异议或纠错】

档案编号： CQ-954-8025-7706
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F1/44类
授权状态： 已授权
档案内容： 一种具有集成检测标记的光刻掩膜版,包括在所述光刻掩膜版上设置的对准标记、测量标记和包含脊形波导信息的图案,所述对准标记用于与晶片定位边对齐；测量标记A包括至少两条分别与所述对准标记相垂直的标记条；所述每条标记条分别包括个数相同的标记格顺次垂直于对准标记排列。本发明所述检验标记包括对准标记与偏离度测量标记,其中的偏离度测量标记设计,可同时用于检验工艺中图形质量。本发明提供的检验标记给出测量偏离度的简单有效的方法,有助于节省购买专用设备的资金、提高产品合格率；同时集偏离度测量与图形质量检验于一体,减少检验标记在晶片上的占用面积,提高有效产品产出率。
附件下载：  (原始资料备查)

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