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专利信息

一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用【异议或纠错】

档案编号： CQ-017-5418-3027
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L33/00;H01L33/20;B23K26/362类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用,属于光电子技术领域,包括以下步骤：(1)在蓝宝石衬底上沉积一层光刻胶掩膜；(2)利用光刻对版进行曝光；(3)显影出光刻胶图形；(4)利用光刻胶做掩膜,激光刻蚀蓝宝石衬底,得到半球状蓝宝石图形衬底；(5)清洗衬底,利用加热的浓硫酸清洗衬底,得到半球状蓝宝石图形衬底。本发明通过光刻胶作掩膜,利用激光刻蚀光刻胶掩膜,有效的利用激光刻蚀过程中的钻蚀性制备出半球状图形衬底。解决了干法刻蚀蓝宝石价格比较昂贵的问题,湿法腐蚀图形失真的问题,工艺简单,便于操作,效率高,同时降低生产成本。
附件下载：  (原始资料备查)

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