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一种半导体芯片用光阻液喷涂装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-506-0009-0299
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B05B9/04;B05B15/40;B05B14/00;B05B1/02;B05B13/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及半导体芯片技术领域,且公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置,包括外壳,所述外壳的内部安装有过滤机构,所述外壳的外壁一侧安装有回收机构,所述回收机构的外壁安装有出液口,所述出液口的底部安装有雾化,所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。该半导体芯片用光阻液喷涂装置,通过储液箱、固定环、滤网、第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管的设置,在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定,以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用,并且使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时,发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收,再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂,可以有效的节约光阻液的浪费。
附件下载:  (原始资料备查)

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