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一种MOCVD设备反应室喷淋口的清洁装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-600-5652-1984
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B1/04;B08B13/00;B08B15/04;C23C16/44;C30B25/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型揭示了一种MOCVD设备反应室喷淋口的清洁装置,清洁装置设有风罩,所述风罩的底板上固定有电机,所述电机的输出轴连接风罩内的刀座,所述刀座上固定有刀片,所述风罩上设有抽尘孔,所述抽尘孔与软管一端连接,所述软管的另一端连接吸尘设备。本实用新型采用半自动化代替手动清洁,节省操作人员体力,提高工作效率,并且能够减少手动清洁时产生的大量颗粒物,进而降低因颗粒物掉落至衬底表面而引起的外延层缺陷。
附件下载:  (原始资料备查)

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