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一种搭配超临界流体干燥的湿法设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-638-8010-4632
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/677;F26B5/00;F26B21/14类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种搭配超临界流体干燥的湿法设备,包括:承载平台,所述承载平台上承载有晶圆;上腔体,所述上腔体设置于所述承载平台的上方,所述上腔体的下部形成有一上工作腔;下腔体,所述下腔体设置于所述承载平台的下方,所述下腔体的上部形成有一下工作腔,且所述上工作腔可操作地与所述下工作腔呈上下闭合设置;其中,所述下腔体内还设置有一导流通道,所述导流通道与所述下腔体连通设置。通过对本发明的应用,可以方便快捷地将清洗后的晶圆放入进行烘干并取出,通过导流通道的设置保证了化学药液的导出并避免了污染物的回弹,提高了晶圆的烘干效率,保证了晶圆表面的清洁度。
附件下载:  (原始资料备查)

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