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一种晶圆干燥模组【异议或纠错】

档案编号: CQ-638-8010-9063
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种晶圆干燥模组,包括:支架、线性移动模组、外腔部、内腔部、化学注入管,线性移动模组安装于支架上,内腔部固定安装于线性移动模组上,外腔部可移动地安装于线性移动模组上,外腔部设置于内腔部的一侧,外腔部靠近内腔部的一侧内凹形成有一密封插槽,外腔部在线性移动模组的驱动下使得内腔部插入于外腔部内,化学注入管与内腔部连接。通过对本发明的应用,提供了一种用于晶圆干燥的模组式结构,通过外腔部和内腔部的配合进一步加强了干燥室的密封性,保证了干燥流程的高质量稳定执行,进一步提高了晶圆的干燥效果;同时,本发明易于使得干燥室打开和关闭,便于自动化机械手的介入以实现无人工接触的全自动化的晶圆干燥流程。
附件下载:  (原始资料备查)

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